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ＳＵＮＫｕｎ，ＺＨＡＮＧＪｕａｎｋｕｎ，ＸＵＰｅｉｄｏｎｇ，ＷＡＮＧＭｉｎｇｗｅｉ，ＬＩＮＱｉｎｇ，ＸＵＪｉｎｆｅｎｇ，ＳＯＮＧＫｅ
（ＫｅｙＬａｂｏｒａｔｏｒｙｏｆＩｎｄｕｓｔｒｉａｌＭｉｃｒｏｂｉｏｌｏｇｙｏｆｔｈｅＭｉｎｉｓｔｒｙｏｆＥｄｕｃａｔｉｏｎ，ＴｉａｎｊｉｎＫｅｙＬａｂｏｒａｔｏｒｙｏｆＩｎｄｕｓｔｒｉａｌＭｉｃｒｏｂｉｏｌｏｇｙ，
ＣｏｌｅｇｅｏｆＢｉｏｅｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ，ＴｉａｎｊｉｎＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙｏｆＳｃｉｅｎｃｅａｎｄＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，Ｔｉａｎｊｉｎ３００４５７，Ｃｈｉｎａ）
Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｐｏｒｏｕｓｓｉｌｉｃｏｎ（ＰＳ）ｗａｓｍａｄｅｆｒｏｍｓｉｌｉｃｏｎｓｂｙａｐｕｌｓｅｄｃｕｒｅｎｔｅｔｃｈｉｎｇｍｅｔｈｏｄ．Ｔｈｒｅｅｍｅｔｈ
ｏｄｓｗｅｒｅｔｅｓｔｅｄｔｏｃｈｏｏｓｅｔｈｅｂｅｓｔｗａｙｏｆｉｍｍｏｂｉｌｉｚｉｎｇｐｅｎｉｃｉｌｉｎａｐｔａｍｅｒｏｎｇｌａｓｓｓｈｅｅｔ，ｃａｌｅｄｔｈｅｃｏｖａ
ｌｅｎｔｂｏｎｄｉｎｇｍｅｔｈｏｄ，ｉｏｎａｂｓｏｒｂｉｎｇｍｅｔｈｏｄ，ａｎｄＡＰＴＥＳｍｏｄｉｆｉｅｄｇｌｕｔａｒａｌｄｅｈｙｄｅｃｒｏｓｓｌｉｎｋｉｎｇｍｅｔｈｏｄ．
ＡｆｔｅｒｐｅｎｉｃｉｌｉｎａｐｔａｍｅｒｗａｓｉｍｍｏｂｉｌｉｚｅｄｏｎｔｈｅｍｏｄｉｆｉｅｄＰＳ，ｔｈｅｉｍｐｅｄａｎｃｅｓｗｅｒｅｄｅｔｅｒｍｉｎｅｄａｎｄｃｏｍ
ｐａｒｅｄｂｙＡＣｉｍｐｅｄｅｎｃｅｍｅｔｈｏｄｕｎｄｅｒｃｏｎｄｉｔｉｏｎｓｏｆａｄｄｉｎｇａｎｄｗｉｔｈｏｕｔａｄｄｉｎｇｐｅｎｉｃｉｌｉｎ．Ｔｈｅｎ，ａｎ
ｅｑｕｉｖａｌｅｎｔｃｉｒｃｕｉｔｗａｓｅｓｔａｂｌｉｓｈｅｄｆｏｒｉｍｐｅｄａｎｃｅｆｉｔｉｎｇ．ＴｈｅＮｙｑｕｉｓｔｐｌｏｔｓｏｆＰＳｓｅｎｓｏｒｃｏｕｌｄｐｒｏｖｅｔｈａｔ
ｔｈｅａｐｔａｍｅｒｗａｓｉｍｍｏｂｉｌｉｚｅｄａｎｄｔｈｅｎａｎｏｂｉｏｓｅｎｓｏｒｅｓｔａｂｌｉｓｈｅｄ．Ｔｈｅｌｉｎｅａｒｒａｎｇｅｏｆｔｈｅｓｅｎｓｏｒｗａｓ
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ｍｅｔｒｉｃｓｅｎｓｏｒｓｕｓｉｎｇｐｏｒｏｕｓｓｉｌｉｃｏｎｍｉｃｒｏｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ［Ｊ］．Ｅｌｅｃｔｒｏ
ｃｈｉｍＡｃｔａ，１９９７，４２（２０／２１／２２）：３１８５３１９３．
［１３］　ＳｃｈｏｎｉｎｇＭ，ＡｒｚｄｏｒｆＭ，ＭｕｌｃｈａｎｄａｎｉＰ，ｅｔａｌ．Ｔｏｗａｒｄｓａｃａｐａｃｉ
ｔｉｖｅｅｎｚｙｍｅｓｅｎｓｏｒｆｏｒｄｉｒｅｃｔｄｅｔｅｒｍｉｎａｔｉｏｎｏｆｏｒｇａｎｏｐｈｏｓｐｈｏｒｕｓ
ｐｅｓｔｉｃｉｄｅｓ：ｆｕｎｄａｍｅｎｔａｌｓｔｕｄｉｅｓａｎｄａｓｐｅｃｔｓｏｆｄｅｖｅｌｏｐｍｅｎｔ［Ｊ］．
Ｓｅｎｓｏｒｓ，２００３，３（６）：１１９１２７．
［１４］　ＢｅｔｙＣ，ＬａｌＲ，ＳｈａｒｍａＤ，ｅｔａｌ．Ｍａｃｒｏｐｏｒｏｕｓｓｉｌｉｃｏｎｂａｓｅｄｃａｐａｃ
ｉｔｉｖｅａｆｉｎｉｔｙｓｅｎｓｏｒｆａｂｒｉｃａｔｉｏｎａｎｄｅｌｅｃｔｒｏｃｈｅｍｉｃａｌｓｔｕｄｉｅｓ［Ｊ］．
ＳｅｎｓＡｃｔｕａｔｏｒｓＢ，２００４，９７（２／３）：３３４３４３．
［１５］　ＢｅｔｙＣ，ＬａｌＲ，ＹａｋｈｍｉＪ，ｅｔａｌ．Ｔｉｍｅｒｅｓｐｏｎｓｅａｎｄｓｔａｂｉｌｉｔｙｏｆ
ｐｏｒｏｕｓｓｉｌｉｃｏｎｃａｐａｃｉｔｉｖｅｉｍｍｕｎｏｓｅｎｓｏｒｓ［Ｊ］．ＢｉｏｓｅｎｓＢｉｏｅｌｅｃ
ｔｒｏｎ，２００７，２２（６）：１０２７１０３３．
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